等离子体阴极放电管原理(等离子体放电原理与材料处理)

1PECVD工艺的基本原理 PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上即样品放置的托盘产生辉光放电，利用辉光放电或另加发热体使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜其工艺原理示意图如图1所示在反。

形成大量等离子体放电管通常由派勒克斯玻璃或石英管制成，高频场由管外螺线管线或环形电极产生放电管顶端插入的钨丝作为正极，放电管尾端的带孔负电极引出离子流金属电极需用石英或玻璃包裹，以减少复合。

工作原理是一种利用气体放电的显示技术，其工作原理与日光灯很相似它采用了等离子管作为发光元件，屏幕上每一个等离子管对应一个像素，屏幕以玻璃作为基板，基板间隔一定距离，四周经气密性封接形成一个个放电空间放电空间内充入氖氙等混合惰性气体作为工作媒质在两块玻璃基板的内侧面上涂有金属氧。

1 PECVD工艺的基本原理 PECVD，即等离子体增强化学气相沉积，是在低气压环境下运用低温等离子体在反应腔阴极产生辉光放电这种放电方式在样品托盘区域发生，样品表面因此升温至设定的温度随后，适量的反应气体被引入腔体中，并在射频源激发的电场作用下发生分解分解生成的电子离子和活性基团等粒子，在。

其运作原理是利用一种气体放电激发荧光粉发光的显示装置原理类似于普通日光灯，“它”通过两块相距几百微米的玻璃板，而中间由排列了大量的等离子管密封组成，且每个等离子管是在其两层间隔为200m以内的玻璃衬板之间所隔成的小室也可将其拟作体积小巧的紫外光日光灯，其中其每个小室内都充有氖。

等离子体显示器PDP根据其工作原理和结构，主要分为三种类型DCPDPACPDP和SMPDP在DCPDPDirect Current Plasma Display Panel中，放电气体与电极直接接触，电极外部串联电阻用作限流阴极表面发生发光，其亮度与电压波形同步，表现为连续发光这种设计的特点是结构相对简单，但放电过程较为直接。

离子源的作用是什么，试述几种常见离子源的原理利用稀薄气体中的高频放电现象使气体电离，一般用来产生低电荷态正离子，有时也从中引出负离子，作为负离子源使用在高频电场中，自由电子与气体中的原子或分子碰撞，并使之电离带电粒子倍增的结果，形成无极放电，产生大量等离子体高频离子源的放电管。

辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大影响，另外与放电功率，气体成分及流动速度材料类型等因素有关等离子体有一些显著的特征1 气体产生辉光现象，常称为“辉光放电”由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响2气体中包含中性粒子离子和电子由于中性粒子和离子温度介于102103K。

pdp是采用了近几年来高速发展的等离子平面屏幕技术的新一代显示设备以出众的图像效果独特的数字信号直接驱动方式而成为优秀的视频显示设备和高清晰的电脑显示器，它将是高清晰度数字电视的最佳显示屏幕等离子管的中心元件就是等离子体所谓等离子体plasma，是指正负电荷共存，处于电中性的放电气体。

气体放电光源利用了电能转换为光能的过程当电流通过气体放电管时，电子与气体原子碰撞引发电离，形成等离子体在等离子体内，自由电子和正离子之间发生碰撞，产生大量的光子这些光子以特定的频率或波长释放出来，形成了可见光紫外线或红外线等不同类型的光源气体放电光源的特点在于其发光效率高寿命长。

低温等离子体技术处理污染物的原理为在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除因其。

等离子体球 ，也叫 等离子体灯 ，是尼古拉·特斯拉为了研究高压现象，在真空玻璃管中对高频电流进行实验时发明的特斯拉把他的发明称为“惰性气体放电管”现代等离子体球的设计，是后来由麻省理工学院的学生比尔·帕克所开发等离子体球是由一个密封的玻璃球壳，其中含有低压惰性气体组成球的中心是。

电弧等离子体炬主要由一个阴极阳极用工件代替或阴阳两极，一个放电室以及等离子体工作气供给系统三部分组成等离子体炬按电弧等离子体的形式可分成非转移弧炬和转移弧炬非转移弧炬图3a中，阳极兼作炬的喷嘴而在转移弧炬图3b中，阳极是指电弧离开炬转移到的被加工工件当然也有兼备转移弧和非转移弧。

等离子除尘不仅去除各种污染物TSP和各种有害气体，还调节空气中的离子平衡等离子除尘的基本原理是 1利用极不均匀电场，形成电晕放电，产生等离子体，其中包含的大量电子和正负离子在电场梯度的作用下，与空气中的颗粒污染物发生非弹性碰撞，从而附着在上面，使之成为荷电离子，在外加电场力的作用下。

这些高氧化性高能量高浓度的离子群能够和气流中的产生臭气污染的有机分子或无机物发生氧化反应，生成无毒的小分子致使空气中的细菌细胞膜以及病毒的蛋白质包膜结构发生改变，从而使其失活2物理作用 在离子管产生的电场作用下，电极空间里的等离子体的电子获得能量后，以每秒300万次至3000万次的。